國內首臺具有納米精度的磁流變拋光設備和離子束拋光設備

　　超精密光學(xué)零件加工技術(shù)在包括激光核聚變項目在內的多個(gè)國家重大型號工程都有廣泛應用，提高這一技術(shù)的工作速度和精度至關(guān)重要。軍報記者從國防科技大學(xué)獲悉，由該校機電工程與自動(dòng)化學(xué)院自主研制的新一代超精密光學(xué)零件加工設備，日前通過(guò)相關(guān)單位組織的工藝考核?？己私Y果表明，該套設備加工精度實(shí)現亞納米級重大突破，標志我國超精密光學(xué)零件加工技術(shù)跨入世界領(lǐng)先行列。

　　超精密加工技術(shù)是先進(jìn)裝備制造的關(guān)鍵技術(shù)，納米精度被譽(yù)為超精密加工技術(shù)“皇冠上的明珠”。過(guò)去，由于我國光學(xué)零件加工技術(shù)落后，無(wú)法進(jìn)行大口徑、高精度、復雜面形的光學(xué)零件加工，嚴重制約相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步。20世紀80年代以來(lái)，該校精密工程創(chuàng )新團隊在李圣怡教授率領(lǐng)下，經(jīng)過(guò)30多年頑強拼搏與自主 創(chuàng )新，先后突破高精度機床精密運動(dòng)機構設計、光學(xué)元件亞納米全頻段誤差控制等核心關(guān)鍵技術(shù)，研制出一系列具有自主知識產(chǎn)權的磁流變、離子束拋光設備，打破了發(fā)達國家對超精密加工設備的技術(shù)封鎖，使我國成為繼美、德之后全面掌握高精度光學(xué)零件加工技術(shù)的國家。

　　據觀(guān)察者網(wǎng)查詢(xún)，我國正在研制的激光核聚變裝置需要大量的高精度、大口徑光學(xué)元件，要按期、保質(zhì)、保量地制造這些光學(xué)元件，必須突破現有的工藝水平，采用高效的先進(jìn)技術(shù)。傳統的連續拋光技術(shù)加工的大口徑光學(xué)零件進(jìn)度能滿(mǎn)足工程要求，但存在加工工期長(cháng)、對人的依賴(lài)性強的缺陷。

　　近年來(lái)，該校精密工程創(chuàng )新團隊在“極大規模集成電路制造裝備與成套工藝”國家重大科技專(zhuān)項二期項目和國家自然科學(xué)基金重大項目支持下，研制成功新一代離子束拋光機床與數控光順拋光機床，其最小可控材料去除量達到0.1納米。有關(guān)專(zhuān)家指出，這一自主創(chuàng )新成果可為“極大規模集成電路制造裝備與成套工藝”“高分 辨率對地觀(guān)測系統”等國家重大科技專(zhuān)項提供有力技術(shù)保障和裝備支撐，將直接促進(jìn)相關(guān)領(lǐng)域關(guān)鍵技術(shù)突破，對于提升我國先進(jìn)裝備制造水平具有重要意義。