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硫的氟化物有S₂F₂、SF₂、S₂F₄、SF₄、S₂F₁₀和SF₆等。由硫在氟氣氛中燃燒可制得SF₆。它是無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)味和無(wú)毒的氣體，加熱至500℃也不分解。它的特點(diǎn)是極不活潑，不與水、酸反應，甚至與熔融的堿也不反應（在高溫高壓下才顯示其反應特性）。正是由于它突出的穩定性和優(yōu)良的絕緣性，廣泛用作高壓發(fā)電機和開(kāi)關(guān)裝置中的絕緣氣體。SF₆的不活潑可能是與S-F鍵強度較大等因素有關(guān)，當然也有動(dòng)力學(xué)的因素。

當用冷卻的硫與F₂作用時(shí)，則會(huì )得到SF₆和SF₄的混合物。SF₄最好的制法是在溫熱的乙腈溶液中由于NaF對SCl₂進(jìn)行氟化：

SF₄遇潮氣迅速分解并立即水解生成HF和SO₂。作為一種有高度選擇性的強氧化劑和氟化劑，它能將BCl₃轉化為BF₃，酮基和醛基C=O轉化為=CF₂，將羧基-COOH轉化為-CF₃，用途廣泛。它還能參與多種氧化加成反應，得到S（Ⅵ）衍生物，如F₂（或CIF）在380℃對SF₄,直接氧化可得到SF₆或SClF₅。

S₂Cl₂是由熔融硫經(jīng)直接氯化后，在進(jìn)行分餾得到的。是一種有毒并有惡臭的黃金色液體，熔點(diǎn)-76℃，沸點(diǎn)138℃。在催化劑FeCl₃存在下將S₂Cl₂，進(jìn)一步氯化，即得到SCl₂，櫻桃紅色液體，極易揮發(fā)，熔點(diǎn)在-122℃，沸點(diǎn)59℃。SCl₂有毒并有惡臭，但更不穩定。

S₂Cl₂和SCl₂都是重要的化工產(chǎn)品。S₂Cl₂主要用在氣相下對某些橡膠的硫化作用，SCl₂可用于烯烴的雙鍵加成。例如，對乙烯進(jìn)行硫化氯化，會(huì )產(chǎn)生臭名昭著(zhù)的糜爛性毒氣，即芥子氣：

含有多個(gè)硫的二氯硫烷也已制得：