陀螺儀通過(guò)使用一種類(lèi)似于人在一個(gè)旋轉平臺移出或移入的諧振質(zhì)量元件，利用科里奧利效應來(lái)測量角速度。圖2示出了ADXRS系列陀螺儀完整的微機械結構，陀螺儀通過(guò)附著(zhù)在諧振體上的電容檢測元件測量諧振質(zhì)量元件及其框架由于科里奧利效應產(chǎn)生的位移。這些電容檢測元件都是由硅材料制成的橫梁，它們與兩組附著(zhù)在基片上的靜止硅橫梁互相交叉，因而形成兩個(gè)標稱(chēng)值相等的電容器。由角速度引起的位移在該系統內產(chǎn)生一個(gè)差分電容。如果彈簧的彈性系數為K2wv M。如果總電容為C2wv，它直接與該角速度成比例。這種關(guān)系的逼真度在實(shí)際應用中非常好，其線(xiàn)性誤差小于0.1％。 MC/gK，硅橫梁的間距為g，則差分電容為/K，那么反作用力造成的位移為
2、陀螺儀的構造以及電路的實(shí)現
ADXRS系列陀螺儀的外圍尺寸為7mm×7mm×3mm，采用BGA-32封裝技術(shù)，有ADXRS150和ADXRS300兩種型號，它們的功能電路完全相同，唯一不同在于前者的量程為±150°/s，后者的量程為±300°/s。圖3顯示了ADXRS300的內部電路結構和外圍電路，其中外圍電路主要是電容和電阻組成。
引腳AVCC接5V電源電壓，22nF的泵浦電容用于產(chǎn)生12V的泵浦電壓以供部分電路使用。測得的角速度以電壓形式在引腳RATEOUT輸出，0°/s時(shí)輸出電壓為2.5V，RATEOUT與引腳SUMJ之間并聯(lián)一個(gè)電阻RoutADXRS300的角速度響應帶寬，－3dB頻率由下式?jīng)Q定：和電容Cout，從而組成低通濾波器用于限制 fout = 1 / (2 π • Rout • Cout) (1)
內部電路的Rout180kΩ，可以從外部給RoutΩ//RextADXRS300的量程為±300°/s，可以在RATEOUT和SUMJ引腳之間給Rout300 kΩ的電阻可以使量程增大50％，但是這需要對電路重新調零，調零時(shí)在SUMJ引腳處外接一個(gè)電阻RnullRATEOUT的零點(diǎn)是2.5V，但角運動(dòng)范圍不對稱(chēng)時(shí)，按下式計算：到地或電源正極，對稱(chēng)角運動(dòng)情況下并聯(lián)一個(gè)電阻來(lái)增大量程，例如并聯(lián)一個(gè)，從而調整角速率響應帶寬。并聯(lián)一個(gè)電阻Rext，使得Rout=180k為 式中，Vnull0——未校正時(shí)零角速度的輸出電壓，
Vnull1——校正后所需的零點(diǎn)電壓。
如果求得的Rnull5V電源上。為負值，則把電阻Rnull接地；為正值，接在
三、實(shí)驗過(guò)程和測量結果
ADXRS300陀螺儀直接的用途就是做角速度測量?jì)x，此外也可以用于測量物體旋轉角度—對陀螺儀的輸出結果積分，所得的數值即為角度。
本實(shí)驗即用ADXRS300陀螺儀測量角度，通過(guò)ADXRS300角速度測量?jì)x測量旋轉物體的轉動(dòng)角速度（注意：陀螺儀可以以任何角度安裝在旋轉物體的任何地方，只要測量使陀螺儀旋轉軸和所要測量的軸平行即可），再對角速度積分就是我們所要的角度了。根據此原理，先把陀螺儀的輸出通過(guò)數據采集器送入PC機中，再用軟件進(jìn)行積分并最終顯示結果。具體流程如圖4。
測量角度的具體方法是把ADXRS300陀螺儀固定在由步進(jìn)電機驅動(dòng)的圓盤(pán)上，由圓盤(pán)帶動(dòng)陀螺儀轉動(dòng)，陀螺儀的輸出電壓由F-5101數據采集控制器進(jìn)行A/D轉換。F-5101的輸入電壓范圍為-5V～5V，A/D轉換位數為12位，轉換速度為25ms，適用于本實(shí)驗的數據采集。
F-5101通過(guò)打印口與計算機相連，占用主機378H和379H兩個(gè)I/O端口。主機通過(guò)寫(xiě)378H向F-5101送入操作狀態(tài)，讀379H得到A/D轉換的數據。
系統的供電電壓為220V，需要通過(guò)AC220B05-1W5型電源模塊把220V交流電轉換為5V直流電供ADXRS300陀螺儀使用。
2、軟件設計
讀取陀螺儀的輸出電壓值，換算成角速度并進(jìn)行積分，最終顯示結果這一步驟通過(guò)Visual Basic程序來(lái)實(shí)現。從計算機379H端口讀取的數值為12位2進(jìn)制數，利用公式
Vout10× (A×16 + B + C / 16)×4096 – 5 (3)＝
可以把12位二進(jìn)制數轉換為十進(jìn)制數，從而求得陀螺儀的實(shí)際輸出電壓。其中Vout12位二進(jìn)制數的高4位、中4位和低4位。電壓值換算成角速度由下式?jīng)Q定：設角速度為w，則：為輸出電壓，A，B，C分別為
w = (Vout -V0) / 5mV /°/s (4)
其中5mV/°/s為ADXRS300陀螺儀的靈敏度，V2.5V。0為陀螺儀靜止時(shí)的輸出電壓，一般為 積分的主要步驟是用角速度w5。乘以程序運行一次所用的時(shí)間△t，循環(huán)運行程序，對每次的乘積進(jìn)行累加，并實(shí)時(shí)送出累加結果，該結果即為測得的物體轉過(guò)的角度，程序流程如圖
表1列出了陀螺儀轉動(dòng)±90°和±180°這四種情況的輸出結果。
實(shí)驗結果表明：角度相對誤差小于0.5％，有較高的精度。其中誤差來(lái)源主要包括： 程序運行一次所用的時(shí)間△t過(guò)長(cháng)，造成對角速度的積分不精確，這是產(chǎn)生誤差的主要來(lái)源。解決的方法是盡量避免冗長(cháng)的程序語(yǔ)句，使用運行速度較快的計算機或者采用更精確的算法。
數據采集A/D轉換時(shí)可能產(chǎn)生的誤差，造成所積分的角速度不準確。
四、結論
隨著(zhù)微機械加工工藝和陀螺儀的設計技術(shù)水平不斷提高，角速度傳感器正朝著(zhù)微型化、集成化的方向發(fā)展，外形更小巧，測量更精確，功能更強大，價(jià)格更低廉的陀螺儀已經(jīng)成為可能。本文介紹的ADXRS角速度檢測陀螺儀體現了這方面的特點(diǎn)，它尺寸小，功耗低，抗沖擊和振動(dòng)性好，電路結構簡(jiǎn)單，能精確測量轉動(dòng)物體的偏航角速度，適用于各種慣性測量系統，是陀螺儀技術(shù)的一個(gè)飛躍。
